
分辨率高的長(zhǎng)行程納米位移臺(tái)有哪幾種?
ML-92A與XYMF-133-100A均為長(zhǎng)行程納米平移臺(tái),具有分辨率高,行程大,帶有高精度及高分辨率的位置反饋,操作簡(jiǎn)單,定位準(zhǔn),能在真空下使用等優(yōu)點(diǎn),其中XYMF-133-100A平移臺(tái)可實(shí)現(xiàn)在XY二維空間上的準(zhǔn)確定位,可應(yīng)用于需要納米精度運(yùn)動(dòng)操作及定位的各個(gè)領(lǐng)域。
該納米位移臺(tái)產(chǎn)品使用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng),運(yùn)動(dòng)無(wú)需潤(rùn)滑,并可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。運(yùn)動(dòng)分辨率達(dá)到納米級(jí)。能夠步進(jìn)和掃描雙模式工作,在宏觀行程范圍內(nèi)達(dá)到亞納米分辨率的定位。支持開(kāi)環(huán)/閉環(huán)控制。
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