旨在預(yù)算與高測量可靠性之間尋求平衡點(diǎn)，該平臺(tái)配備高精度位移臺(tái)，可實(shí)現(xiàn)X、Y、Z、R等方向自動(dòng)調(diào)整，各移動(dòng)軸可實(shí)現(xiàn)±0.005mm以下的精度定位，對(duì)陣列型測量特征可實(shí)現(xiàn)快速準(zhǔn)確的測量。經(jīng)濟(jì)實(shí)用，穩(wěn)定性強(qiáng)，可升級(jí)擴(kuò)展，操作方便是本產(chǎn)品的核心價(jià)值，在各大高校、研究所及半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用廣泛。

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